半导体制造设备用轴承分几种，一是真空轴承，其型号如5MG-SEB08J1ZZ1C3/0G，二是超清洁轴承，其型号如MT2-SEB08J1ZZ1C3/0G，三是长寿命超净轴承，其型号如MT2-5PT-SEB08J1ZZ1C3/0G，四是低颗粒润滑脂轴承，其型号如SEB08J1ZZ1C3/L635QMP，五是真空环境用低颗粒润滑脂轴承，其型号如SEB08J1ZZ1C3/LX23Q67。
真空轴承5MG中的5代表固体润滑膜的零件代码，5代表滚珠，若为2，代表内圈和外圈，MG代表固体润滑剂代码，MG代表镀银轴承，除此外，还有MM（二硫化钼涂层轴承），MN（镀铅轴承）；
长寿命超净轴承中的MT2-5PT代表长寿命超净轴承，若仅为MT2，代表长寿命超净轴承，若无前缀，代表润滑脂润滑轴承，润滑脂型号在轴承代号的最后面；
J1是保持架代号，即奥氏体不锈钢保持架，此外还有T3（聚四氟乙烯树脂保持架），L9（铅铜合金保持架）；
/0G是润滑脂代号，代表固体润滑脂，除此外，还有/L635（低颗粒润滑脂），/LX23（低颗粒氟润滑脂）等。
低颗粒润滑脂轴承最后的代号QMP或Q67代表润滑脂填充量，QMP是NTN的标识方法，代表润滑脂填充量从QM-QP，即25%-32.5%，除此外，还有QD（5%-10%），QE（7.5-12.5）等等共十余种，Q67是SNR是标识方法，代表润滑脂填充量67%。
